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Medientyp: E-Artikel Titel: Modelling of Magnetron Sputtering of Tungsten Oxide with Reactive Gas Pulsing Beteiligte: Kubart, Tomáš; Polcar, Tomáš; Kappertz, Oliver; Parreira, Nuno; Nyberg, Tomas; Berg, Sören; Cavaleiro, Albano Erschienen: Wiley, 2007 Erschienen in: Plasma Processes and Polymers Sprache: Englisch DOI: 10.1002/ppap.200731301 ISSN: 1612-8850; 1612-8869 Schlagwörter: Polymers and Plastics ; Condensed Matter Physics Entstehung: Anmerkungen: