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Medientyp: E-Artikel Titel: Modification of a 100-mA-class high-current oxygen implanter and its application to ultrathin film MOSFET/SIMOX Beteiligte: Izumi, K.; Omura, Y.; Nakashima, S. Erschienen: Elsevier BV, 1989 Erschienen in: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms Sprache: Englisch DOI: 10.1016/0168-583x(89)90190-0 ISSN: 0168-583X Schlagwörter: Instrumentation ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: