> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Artikel Titel: Bulk micromachining of SiC substrate for MEMS sensor applications Beteiligte: Vanko, Gabriel; Hudek, Peter; Zehetner, Johann; Dzuba, Jaroslav; Choleva, Pavlina; Kutiš, Vladimír; Vallo, Martin; Rýger, Ivan; Lalinský, Tibor Erschienen: Elsevier BV, 2013 Erschienen in: Microelectronic Engineering Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.mee.2013.01.046 ISSN: 0167-9317 Entstehung: Anmerkungen: