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Medientyp: E-Artikel Titel: Electronic interface properties of silicon substrates after ozone based wet-chemical oxidation studied by SPV measurements Beteiligte: Angermann, Heike; Wolke, Klaus; Gottschalk, Christiane; Moldovan, Ana; Roczen, Maurizio; Fittkau, Jens; Zimmer, Martin; Rentsch, Jochen Erschienen: Elsevier BV, 2012 Erschienen in: Applied Surface Science Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.apsusc.2012.03.170 ISSN: 0169-4332 Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics ; Surfaces and Interfaces ; General Physics and Astronomy ; General Chemistry Entstehung: Anmerkungen: