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Medientyp: E-Artikel Titel: Glow discharge optical emission spectroscopy for accurate and well resolved analysis of coatings and thin films Beteiligte: Wilke, Marcus; Teichert, Gerd; Gemma, Ryota; Pundt, Astrid; Kirchheim, Reiner; Romanus, Henry; Schaaf, Peter Erschienen: Elsevier BV, 2011 Erschienen in: Thin Solid Films Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.tsf.2011.07.058 ISSN: 0040-6090 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Metals and Alloys ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: