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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Properties of fluoride DUV excimer laser optics: influence of the number of dielectric layers Beteiligte: Arens, Winfried; Ristau, Detlev; Ullmann, Jens; Zaczek, Christoph; Thielsch, Roland; Kaiser, Norbert; Duparre, Angela; Apel, Oliver; Mann, Klaus R.; Lauth, Hans; Bernitzki, Helmut; Ebert, Johanes; Schippel, Stefan; Heyer, H. Erschienen: SPIE, 2000 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.379314 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: