• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Properties of fluoride DUV excimer laser optics: influence of the number of dielectric layers
  • Beteiligte: Arens, Winfried; Ristau, Detlev; Ullmann, Jens; Zaczek, Christoph; Thielsch, Roland; Kaiser, Norbert; Duparre, Angela; Apel, Oliver; Mann, Klaus R.; Lauth, Hans; Bernitzki, Helmut; Ebert, Johanes; Schippel, Stefan; Heyer, H.
  • Erschienen: SPIE, 2000
  • Erschienen in: SPIE Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.379314
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: