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  1. Wächtler, Thomas [VerfasserIn]

    Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices = Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente

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    Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2010

  2. Wächtler, Thomas [VerfasserIn]

    Thin films of copper oxide and copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices = Dünne Schichten von Kupferoxid und Kupfer hergestellt mittels Atomlagenabscheidung zur Anwendung in Metallisierungssystemen mikroelektronischer Bauelemente

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