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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Thin films of Copper oxide and Copper grown by atomic layer deposition for applications in metallization systems of microelectronic devices Beteiligte: Wächtler, Thomas [VerfasserIn] Erschienen: Chemnitz: Universitätsverlag Chemnitz, 2010 Umfang: 245 S.; Ill. graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 9783941003170 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Schlagwörter: Kupfer > Kupferoxide > Dünne Schicht > Atomlagenabscheidung > Metallisieren Ameisensäure > Atomschichtepitaxie > Ausgangsmaterial > Diketonate > Galvanische Abscheidung Kupfer > Kupferoxide > Metallisierungsschicht Reduktion > Ruthenium > Tantal > Tantalnitride > ULSI Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2010 Anmerkungen: Enth. außerdem: Thesen
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2010 8 033561 Barcode: 32905124 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden