Media type: Article Title: Jenaer Arbeiten zur Elektronenstrahllithographie : Teil 2 (ab 1900) Contributor: Hahmann, Peter [Author] imprint: 2012 Published in: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte ; 15(2012), Seite 73-171 Language: German ISSN: 2198-6746 RVK notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Keywords: Jena > Elektronenstrahllithografie > Geschichte 1990- Origination: Footnote: Literaturverzeichnis S.152 -170