> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Artikel Titel: Jenaer Arbeiten zur Elektronenstrahllithographie : Teil 2 (ab 1900) Beteiligte: Hahmann, Peter [VerfasserIn] Erschienen: 2012 Erschienen in: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte ; 15(2012), Seite 73-171 Sprache: Deutsch ISSN: 2198-6746 RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Jena > Elektronenstrahllithografie > Geschichte 1990- Entstehung: Anmerkungen: Literaturverzeichnis S.152 -170