Media type: E-Book Title: Graphen-Prozessierung auf 200mm-Wafern für mikroelektronische Anwendungen : Schlussbericht zum Verbundprojekt : Teilprojekt: GIMMIK : Laufzeit: 01.01.2019-30.06.2022 Other titles: Abweichender Titel: Schlussbericht GIMMIK Contributor: Krotkus, Simonas [VerfasserIn]; Anders, Thorsten [VerfasserIn]; Heuken, Michael [VerfasserIn] Corporation: AIXTRON SE imprint: Herzogenrath: AIXTRON SE, [2022] Extent: 1 Online-Ressource (14 Seiten, 1,25 MB); Illustrationen, Diagramme Language: German DOI: 10.2314/KXP:1879547902 Identifier: Keywords: Forschungsbericht Origination: Footnote: Förderkennzeichen BMBF 03XP0210A Verbundnummer 01185293 Literaturverzeichnis: Seite 5 Access State: Open Access Rights information: Attribution - No Derivs (CC BY-ND)