• Media type: E-Book
  • Title: Graphen-Prozessierung auf 200mm-Wafern für mikroelektronische Anwendungen : Schlussbericht zum Verbundprojekt : Teilprojekt: GIMMIK : Laufzeit: 01.01.2019-30.06.2022
  • Other titles: Abweichender Titel: Schlussbericht GIMMIK
  • Contributor: Krotkus, Simonas [VerfasserIn]; Anders, Thorsten [VerfasserIn]; Heuken, Michael [VerfasserIn]
  • Corporation: AIXTRON SE
  • imprint: Herzogenrath: AIXTRON SE, [2022]
  • Extent: 1 Online-Ressource (14 Seiten, 1,25 MB); Illustrationen, Diagramme
  • Language: German
  • DOI: 10.2314/KXP:1879547902
  • Identifier:
  • Keywords: Forschungsbericht
  • Origination:
  • Footnote: Förderkennzeichen BMBF 03XP0210A
    Verbundnummer 01185293
    Literaturverzeichnis: Seite 5
  • Access State: Open Access
  • Rights information: Attribution - No Derivs (CC BY-ND)