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Medientyp: E-Book Titel: Graphen-Prozessierung auf 200mm-Wafern für mikroelektronische Anwendungen : Schlussbericht zum Verbundprojekt : Teilprojekt: GIMMIK : Laufzeit: 01.01.2019-30.06.2022 Weitere Titel: Abweichender Titel: Schlussbericht GIMMIK Beteiligte: Krotkus, Simonas [VerfasserIn]; Anders, Thorsten [VerfasserIn]; Heuken, Michael [VerfasserIn] Körperschaft: AIXTRON SE Erschienen: Herzogenrath: AIXTRON SE, [2022] Umfang: 1 Online-Ressource (14 Seiten, 1,25 MB); Illustrationen, Diagramme Sprache: Deutsch DOI: 10.2314/KXP:1879547902 Identifikator: Schlagwörter: Forschungsbericht Entstehung: Anmerkungen: Förderkennzeichen BMBF 03XP0210A Verbundnummer 01185293 Literaturverzeichnis: Seite 5 Zugangsstatus: Freier Zugang Rechte-/Nutzungshinweise: Namensnennung - Keine Bearbeitung (CC BY-ND)