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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering Beteiligte: Güttler, Dominik [VerfasserIn] Erschienen: Dresden: Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, 2009 Erschienen in: Forschungszentrum Dresden-Rossendorf: Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf ; 515 Umfang: V, 112 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Schlagwörter: Hochschulschrift ; Forschungsbericht Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Fak. Mathematik und Naturwissenschaften, Diss., 2009 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Wissenschaftlich-technische Berichte / FZD, Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2009 4 007632 Barcode: 31486066 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden
Zentralbibliothek – Magazin Signatur: 2009 4 007630 Barcode: 31486067 Status: Bestellen zur Benutzung im Haus, kein Versand per Fernleihe, nur Kopienlieferung > Bestellen möglich - bitte anmelden