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Medientyp:
E-Book;
Hochschulschrift
Titel:
Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates
Weitere Titel:
Übersetzung des Haupttitels: Multiskalensimulation der Atomlagenabscheidung von metallischem Kupfer und Kupferoxid aus Cu Beta-Diketonate