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Medientyp: Buch Titel: Introduction to spectroscopic ellipsometry of thin film materials : instrumentation, data analysis, and applications Beteiligte: Wee, Andrew T. S. [VerfasserIn]; Yin, Xinmao [VerfasserIn]; Tang, Chi Sin [VerfasserIn] Körperschaft: Wiley-VCH Erschienen: Weinheim: Wiley-VCH, [2022] Umfang: x, 187 Seiten; Illustrationen; 24.4 cm x 17 cm Sprache: Englisch ISBN: 9783527349517; 3527349510 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 1134951 000 RVK-Notation: UP 7500 : Allgemeines Schlagwörter: Ellipsometrie > Dünne Schicht Entstehung: Anmerkungen: