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Medientyp: Buch Titel: Chemical vapour deposition : precursors, processes and applications Beteiligte: Jones, Anthony C. [HerausgeberIn]; Hitchman, Michael L. [HerausgeberIn] Erschienen: Cambridge: RSC Publishing, [2009] Umfang: xv, 582 Seiten; Illustrationen, Diagramme; 25 cm Sprache: Englisch ISBN: 0854044655; 9780854044658 RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Schlagwörter: CVD-Verfahren CVD-Verfahren Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben