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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Application oriented nano-patterning methods based on the liquid transfer imprint lithography Beteiligte: Kim, Jung Wuk [VerfasserIn] Erschienen: München: Verl. Dr. Hut, 2015 Erschienen in: Ingenieurwissenschaften Ausgabe: 1. Aufl. Umfang: IV, 139 S.; Ill., graph. Darst; 210 mm x 148 mm, 233 g Sprache: Englisch ISBN: 9783843920469; 384392046X RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Lithografie > Halbleitertechnologie Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014 Anmerkungen: