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  1.

    Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / 1, Microlithography

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    Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Pr., 1997

    Erschienen in: Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication / P. Rai-Choudhury, ed. ; 1 - Institution of Electrical Engineers: IEE materials and devices series ; 12 - SPIE: SPIE press monograph ; 39

  6. Rai-Choudhury, P. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication

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    Bellingham, Wash.: SPIE Optical Engineering Pr., 19XX- ; London: Institution of Electrical Engineers, 19XX-

    Erschienen in: IEE materials and devices series ; .- SPIE Press monograph ; .

  9. Landis, Stefan [HerausgeberIn]

    Nano-lithography

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    Hoboken, NJ: Wiley, 2011 ; London: ISTE [u.a.], 2011

  10. Ito, Hiroshi [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Marty, Jean D. [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]; Mauzac, Monique [Sonstige Person, Familie und Körperschaft]

    Microlithography

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    Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2005

    Erschienen in: Advances in polymer science ; 172

  11. Bucknall, David G. [VerfasserIn]

    Nanolithography and patterning techniques in microelectronics

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    Boca Raton; Boston; New York: CRC Press, Taylor & Francis Group, [2005] ; Cambridge, England: Woodhead Publishing, [2005]

    Erschienen in: Woodhead Publishing in materials

  13. Paschke, F. [HerausgeberIn]; Paschke, Fritz [HerausgeberIn] ; International Conference on Microlithography 14 1988 Wien

    Microcircuit engineering 88 : proceedings

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    Amsterdam [u.a.]: North-Holland, 1989