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Medientyp: E-Book; Konferenzbericht Titel: ICPT 2012 - International Conference on Planarization/CMP Technology : 15-17 Oct. 2012 Beteiligte: ICPT 2012 Grenoble Erschienen: [Piscataway, NJ]: IEEE, 2012 Umfang: 1 Online-Ressource Sprache: Englisch Schlagwörter: Chemisch-mechanisches Polieren Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben