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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Development of plasma chemical vaporization machining and elastic emission machining systems for coherent x-ray optics Beteiligte: Mori, Yuzo; Yamauchi, Y.; Yamamura, Kazuya; Mimura, Hidekazu; Saito, A.; Kishimoto, H.; Sekito, Y.; Kanaoka, Masahiko; Souvorov, Alexei; Yabashi, Makina; Tamasaku, Kenji; Ishikawa, Tetsuya Erschienen: SPIE, 2001 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.448496 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: