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Medientyp: E-Artikel Titel: Silicon Carbide and Related Materials 2005: High Temperature Annealing Study of Al2O3 Deposited by ALCVD on n-Type 4H-SiC Beteiligte: Avice, Marc; Grossner, Ulrike; Nilsen, Ola; Christensen, Jens S.; Fjellvåg, Helmer; Svensson, B.G. Erschienen: Trans Tech Publications Ltd., 2006 Erschienen in: Silicon Carbide and Related Materials 2005 Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.4028/0-87849-425-1.1067 ISSN: 0255-5476 Entstehung: Anmerkungen: