> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: An analytical electrothermal model of a 1D electrothermal MEMS micromirror Beteiligte: Todd, Shane T.; Xie, Huikai Erschienen: SPIE, 2005 Erschienen in: Smart Structures, Devices, and Systems II Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.582136 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: