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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Fundamental limits of optical critical dimension metrology: a simulation study Beteiligte: Silver, Richard; Germer, Thomas; Attota, Ravikiran; Barnes, Bryan M.; Bunday, Benjamin; Allgair, John; Marx, Egon; Jun, Jay Erschienen: SPIE, 2007 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.716604 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: